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金刚线切单晶硅片,用传统的制绒方式就可以兼容。而多晶的金刚线切片用现有的各向同性酸制绒方法,得到的反射率非常高多晶硅片切割的主要障碍:金刚线切割的多晶硅片反射率更高,常规的多晶制绒工艺难以达到很好的效果。传统多晶酸制绒工艺通过各项同性腐蚀在硅片表面形成绒面,绒面形貌取决于表面损伤层的分布状态。
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